百級(jí)潔凈室
100級(jí)潔凈間的氣流形式是層流方式，空氣以均勻的斷面速度沿平行流線流動(dòng)，與流體力學(xué)的層流概念不太相同，具體講就是垂直層流側(cè)回風(fēng)。和百級(jí)以上潔凈間所采用的混流或亂流方式（即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動(dòng)）相比較，它具有效果完全、運(yùn)轉(zhuǎn)迅速穩(wěn)定、粉塵堆集與再飄浮極少，以及管理容易等優(yōu)點(diǎn)，但是設(shè)備造價(jià)非常高，維護(hù)費(fèi)用也很高。
潔凈度：粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數(shù)不能大于100個(gè)。
壓差及溫濕度：溫度22℃±2；濕度55%±5；基本需要滿布ffu，做高架地板。做MAU+ffu+DC系統(tǒng)。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
照度：
由于無(wú)塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細(xì)的要求，而且又都是密閉性房屋，所以，對(duì)照明一向有很高的要求。主要有以下幾點(diǎn)：
局部照明：這是指為增加某一指定地點(diǎn)的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明中一般不單獨(dú)使用局部照明。
混合照明：指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明，其中，一般照明的照度應(yīng)占總照度的10%-15%。
根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》編制組的調(diào)查，對(duì)工作認(rèn)為比較合適的最低照度作了統(tǒng)計(jì)，其結(jié)果略高于150lx。因此，將一般照明的下限值定為150lx是合適的，雖然在300lx時(shí)有更高的工作效率。根據(jù)大量驗(yàn)收測(cè)定發(fā)現(xiàn)，最低照度值達(dá)到200lx以上就比較困難，實(shí)際上150lx已相當(dāng)亮了，因?yàn)槠骄斩纫哂谒芏?工作區(qū)內(nèi)用平均照度意義不大，因?yàn)橛腥舾牲c(diǎn)在150lx以下，就不適合工作。對(duì)于特別要求高照度操盤點(diǎn)可以采用局部照明，而不宜普遍提高整個(gè)車間的最低照度標(biāo)準(zhǔn)。除可利用局部照明外，必要時(shí)也可利用自然光，當(dāng)平面上有外廊時(shí)就可以做到這一點(diǎn)。
 
千級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
要了解千級(jí)潔凈室，我們先來(lái)了解“無(wú)塵”這個(gè)概念。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
潔凈度：
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
壓差：
對(duì)于大部分凈化無(wú)塵車間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力;潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力;相通潔凈室之間的門要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
 
溫濕度：常規(guī)是溫度22±2度，濕度55±5%。
 
萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
世界各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)無(wú)塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如：10級(jí)在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級(jí)在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
潔凈度：潔凈度10000級(jí)cleanliness class 10000（P2萬(wàn)級(jí)實(shí)驗(yàn)室即ISO7級(jí)）即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒／m3 (35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。
壓差及溫濕度控制：
1）溫度:干盤管系統(tǒng)控制。
2）濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過(guò)感測(cè)的信號(hào),控制三通閥開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。
3）正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測(cè)的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。
 
檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：
氣流速度及其均勻度檢測(cè)，是無(wú)塵室效果的其他各項(xiàng)檢測(cè)的前提，這項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流無(wú)塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
1）室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)：潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。
2）自凈時(shí)間的檢測(cè)：通過(guò)確定自凈時(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
3）照度的檢測(cè)：照度檢測(cè)的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
4）振動(dòng)的檢測(cè)：振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明無(wú)塵室各表明的振動(dòng)幅度。
5）溫、濕度的檢測(cè)：溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)無(wú)塵室的送風(fēng)溫度，檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)無(wú)塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)敏感元件處的空氣度，檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測(cè)回風(fēng)溫度。
 
10萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
10萬(wàn)級(jí)凈化車間的潔凈度算起來(lái)并不算太高，包括一般的電子，食品飲料，醫(yī)療器械，化妝品廠等。
潔凈度：
100000（10萬(wàn)）級(jí)潔凈室是指工作車間里面每立方米的微粒控制在10W以內(nèi) 潔凈室的生產(chǎn)車間主要用與電子行業(yè)和藥品行業(yè)，食品行業(yè)如果有10萬(wàn)級(jí)的生產(chǎn)車間是相當(dāng)不錯(cuò)的。100000（10萬(wàn)）級(jí)潔凈室要求每小時(shí)換氣15-19次，完全換氣后空氣凈化時(shí)間不超過(guò)40分鐘。
壓差：
相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致，對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。
溫濕度：
十萬(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。
照度：
潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
送風(fēng)量或風(fēng)速
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣，根據(jù)不同的潔凈度要求，當(dāng)潔凈室凈高較高時(shí)，適當(dāng)增加換氣次數(shù)。當(dāng)10萬(wàn)級(jí)潔凈室高效過(guò)濾器集中布置在機(jī)房或系統(tǒng)末端采用亞高效過(guò)濾器時(shí)，可適當(dāng)提高換氣次數(shù)10-20%。
 
30萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度。通常空氣中含塵濃度低則空氣潔凈度高，含塵濃度高則空氣潔凈度低。按空氣中懸浮粒子濃度來(lái)劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度等級(jí)，就是以每立方米空氣中的最大允許粒子數(shù)來(lái)確定其空氣潔凈度等級(jí)。
藥廠房一般有萬(wàn)級(jí)，十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí)，其中以十萬(wàn)級(jí)（灌裝，內(nèi)包裝）及三十萬(wàn)級(jí)最多，十萬(wàn)級(jí)較三十萬(wàn)級(jí)潔凈度衛(wèi)生要嚴(yán)格很多。
潔凈度：
每立方米大于或等于0.5μm的塵粒最多不能超過(guò)10，500，000個(gè)；每立方米大于或等于5μm的塵粒最多不能超過(guò)60，000個(gè)；每立方米浮游菌數(shù)量最多不能超過(guò)1000個(gè)。
壓差及溫濕度控制：
壓差：不同潔凈級(jí)別潔凈室(區(qū))之間，靜壓差大于或等于5PA；潔凈室(區(qū))與室外，靜壓差大于或等于10PA。
溫濕度：溫度——18~28℃；濕度——45~65%。
換氣次數(shù)：
每小時(shí)換氣次數(shù)不能小于12次。
 
百萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
 
潔凈室的空氣潔凈度測(cè)試：
空態(tài)測(cè)試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒(méi)有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。
靜態(tài)測(cè)試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒(méi)有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。
動(dòng)態(tài)測(cè)試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試：
潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè)，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
 
百萬(wàn)級(jí)空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)：
每立方米大于等于0.5μm的塵粒數(shù)不能大于35200000個(gè)；每立方米大于等于1μm的塵粒數(shù)不能大于8320000；每立方米大于等于5μm的塵粒數(shù)不能大于293000。
 
送風(fēng)量或風(fēng)速：
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣，根據(jù)不同的潔凈度要求，當(dāng)潔凈室凈高較高時(shí)，適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中，100萬(wàn)級(jí)潔凈室的通風(fēng)量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮，其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮。
 
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